真空燒結(jié)爐主要利用的是中頻感應(yīng)加熱的原理,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),這是一種半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中新穎的工藝裝備。在高溫下,使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián),晶粒長(zhǎng)大,空隙(氣孔)和晶界漸趨減少,通過(guò)物質(zhì)的傳遞,其總體積收縮,密度增加,最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體。那么,如何延長(zhǎng)真空燒結(jié)爐的使用壽命?
1、適當(dāng)?shù)沫h(huán)境濕度
實(shí)驗(yàn)電爐和控制器的相對(duì)濕度不得超過(guò)85%,且不得有導(dǎo)電性的浮塵,爆炸性氣體和腐蝕性刺激物,以免破壞金屬絕緣和電子部件。碳化硅棒應(yīng)放置在干燥的地方,以防止鋁頭吸收水分并發(fā)生變化。在施工過(guò)程中,如果發(fā)現(xiàn)某些桿呈白色,而有些桿呈深紅色,則表明每個(gè)桿的電阻都不同,因此有必要在重新施加之前用相似的電阻值更換該桿。
2、合適的溫度
高溫真空燒結(jié)爐的運(yùn)行與工作溫度有很大關(guān)系??刂破鞯墓ぷ鳝h(huán)境溫度限制在0-50℃,不能太高或太低。
3、確保設(shè)備連接正確
在實(shí)驗(yàn)電爐的運(yùn)行狀態(tài)下,檢查電爐和控制器的連接器的連接是否完好。
4、沖洗電爐
做好沖洗實(shí)驗(yàn)電爐的電爐的工作。應(yīng)及時(shí)清除爐中的金屬氧化物,熔渣和碎屑,并應(yīng)小心處理工件,以防止碳化硅棒損壞。
5、不符合要求的工件嚴(yán)禁進(jìn)入爐內(nèi)。
使用高溫真空燒結(jié)爐和控制器時(shí),請(qǐng)確保爐溫在額定功率范圍內(nèi),并且爐溫不能超過(guò)極限使用溫度。禁止將潮濕的工件裝入爐中。在加熱爐中,水分含量很高的加熱工件應(yīng)提前干燥。
6、避免對(duì)加熱元件造成其他損壞
碳化硅棒是碳化硅的重結(jié)晶產(chǎn)物。堿,堿金屬,硫酸和硼化合物在高溫下可能對(duì)其產(chǎn)生腐蝕作用,而水蒸氣會(huì)對(duì)其產(chǎn)生影響。有很強(qiáng)的氧化作用:氫氣和含有大量氫氣的氣體會(huì)在高溫下分解碳化硅棒,因此必須嚴(yán)格注意其應(yīng)用。